チラーは水もしくは液体の低温熱媒体を利用した、冷却をメインとした温度調節をする機械です。レーザー加工等にチラーを導入すると、研磨作業がが安定するのがメリットになります。X線回折装置にチラーを導入すると、光源部の故障が減るのがメリットです。チラーを使用すると、夏や冬の温度差に対応する以外に節水対策になります。

チラーは内臓タンクで水を循環させるので、水道代の節約になるのがメリットです。この装置は対応できる気温の幅が広く、氷点下でも使用できます。精密機械の研磨の制度が安定する以外に、節水になるので注目されている装置です。季節による温度差にも対応できるので、便利なシステムとして利用している分野が増えています。